发展历程
    自2009年成立以来,在日新月异的科技发展中不断探索,稳中求进,在挑
战中不断成长,致力成为推进半导体行业发展的有力一员
    
    
        
            
                2009年                                
            
            
                公司创立,专注于半导体客户的设备服务。
            
         
        
            
                2012年                                
            
            
                专注于温控设备的销售和服务,成为知名半导体厂商的合格供应商。
            
         
        
            
                2019年                                
            
            
                公司成立研发部,致力于国产精密温度/湿度调节装置的研发。
            
         
        
            
                2020年                                
            
            
                首台自主研发的精密温湿度空气调节装置(AK系列)正式落地,并应用于半导体生产过程中的涂布/显影设备。
            
         
        
            
                2021年                                
            
            
                首台自主研发的精密温度液体调节装置(QH系列-30~90 ℃)正式落地,并应用于半导体生产过程中的蚀刻设备。
            
         
        
            
                2022年                                
            
            
                国内首创,自主研发的大型精密空气温湿度&液体温度复合调节装置研发成功,并可以应用于300mm半导体生产过程中的晶圆涂布/显影设备。
            
          
        
            
                2023年                                
            
            
                自主研发的超低温(-65℃)chiller的研发成功