精密型液体温度调节装置(CHILLER)-鸿世佰熠

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精密冷却液温度控制设备(LTC)

应用领域：半导体刻蚀制程设备适用。

产品说明：主要用于半导体、液晶面板制程中对反应腔室温度的精准控制。

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