ACU-鸿世佰熠

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高精密空气温湿度+液体温度复合控制系统（ACU）

应用领域：晶圆制造、液晶面板、封装测试、精密测量、学术研究等。

产品说明：对应用于半导体生产等的曝光设备、涂布/显影设备中，制程腔体内的环境温湿度进行精密控制，以保证制品良率。

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